Caracterización de las propiedades mecánicas de microestructuras de carbono pirolítico obtenidas mediante la pirólisis de resinas fotosensibles

Abstract

En el presente trabajo se estableció una metodología de fabricación de microestructuras de carbono pirolítico en una atmósfera inerte de vacío. Siguiendo tal metodología, se fabricó una película de carbono con espesor de 3.3 micrómetros depositada sobre un sustrato de sílica fundida. La anterior película de carbono fue estudiada, junto a muestras generadas por otros grupos de trabajo del Laboratorio de BioMEMS del Instituto de Ingeniería, en distintas pruebas mecánicas y de caracterización morfológica. Se logró caracterizar el módulo de Young y razón de Poisson del carbono pirolítico para las condiciones particulares de pirólisis empleadas, ademas de la adhesión a su sustrato de sílica fundida y sus esfuerzos residuales. También, se describen aspectos morfológicos del material generado como su acabado superficial y el arreglo de su estructura atómica.