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Sistema de deposición de fotorresinas sobre películas delgadas

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dc.contributor.author Zambrano Orpinel, Francisco Jesús
dc.date.accessioned 2017-03-23T22:01:18Z
dc.date.available 2017-03-23T22:01:18Z
dc.date.issued 2017-03-23
dc.identifier.uri http://132.248.52.100:8080/xmlui/handle/132.248.52.100/12327
dc.description En el capítulo 2 se presenta una breve explicación de los temas involucrados en el desarrollo de este trabajo. En el capítulo 3 se plantea el diseño y desarrollo de las etapas que conforman el sistema. En el capítulo 4 se presentan los resultados obtenidos sobre la deposición de una fotorresina positiva en un sustrato de vidrio. En el capítulo 5 se muestran las conclusiones de este trabajo, junto con algunas reflexiones y posibles trabajos a futuro. Por último en la sección de apéndices se anexan las figuras que muestran los diagramas, PCB´s, imágenes, hojas de especificaciones y el código de programación. es_ES
dc.description.abstract El presente trabajo tiene como objetivo el diseño y desarrollo de un sistema de deposición de resinas fotosensibles sobre sustratos con depósitos con películas delgadas de materiales conductores o semiconductores. es_ES
dc.language.iso es es_ES
dc.subject Microlitografía es_ES
dc.subject Fuentes de Alimentación es_ES
dc.subject películas delgadas es_ES
dc.subject Deposición por Giro es_ES
dc.subject Cuartos Limpios para peliculas es_ES
dc.subject Fotorresinas sobre peliculas delgadas es_ES
dc.subject Sistema de deposicion de fotorresinas es_ES
dc.title Sistema de deposición de fotorresinas sobre películas delgadas es_ES
dc.type Tesis es_ES
dc.director.trabajoescrito Ruvalcaba Morales, Raúl
dc.carrera.ingenieria Ingeniería eléctrica y electrónica es_ES


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Nombre: tesis.pdf
Tamaño: 4.502Mb
Formato: PDF
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  • Tesis 2017
    Trabajos escritos para obtener grado académico de licenciatura en ingeniería

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